扫描电子显微镜

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扫描电子显微镜

详细信息与技术指标

功能应用范围：显微结构观察：高压和低压模式下的二次电子表面形貌像(SEI)、背散射电子（BEI）形貌和成分像、二次电子与背散射电子混合像等；电子探针微区成分检测：可进行多元素的点分析、线分析和面分布检测。

主要技术指标：加速电压0.3-30kV，分辨率3.0nm(30kV) 放大倍数5-300000，200mm大样品室。

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